钛合金不太好抛光，因为钛的化学反应性高，导热系数低，粘性大，机械研磨研削比低，且易于磨料磨具发生反应，因此普通磨料不宜用于钛的研磨与抛光，最好采用导热性好的超硬磨料，如金刚石等，抛光轮速度一般为900到1800m/分钟，否则，钛表面易发生研削烧伤和微裂纹。钛及钛合金的金相样品制备比钢更困难,其磨光和抛光效率低,过度剧烈的切割和磨光过程都会在a相中产生形变孪晶,产生形变孪晶以后,钛的微观结构分析受干扰。

纯钛采用冷镶嵌比热压力镶嵌更为适合,热压力镶嵌可能改变纯钛中氢元素的含量和分布。纯钛在样品制备过程中想要去除划痕和塑性流变非常困难。

钛合金的抛光首先用金相砂纸，先用80目的金相砂纸，研磨到表面没有粗皮为止，再用320目的金相砂纸研磨，把砂纹研磨到细，两分钟后换1200目的金相砂纸研磨，使产品表面砂纹更加细，如果需要进一步研磨则用2000目的金相砂纸。

再使用人工合成无绒毛抛光布加上二氧化硅悬浮抛光液或者是金刚石研磨膏（粒度要比较细的）进行抛光，抛光机转速150RPM ,抛光时间:每个样品上压力33N (7.5Ib ) 10分钟,压力16.7N ( 3.75Ib ) 2分钟,压力8N ( 2Ib ) 1分钟。

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